专利号 | 专利名称 | 专利类型 |
ZL 2008 1 0235048. 5 | 模态激励悬臂微梁及其模态形状电极的宽度确定方法 | 发明 |
ZL 2008 1 0235049. X | 模态激励两端固定微梁及其模态形状电极的宽度确定方法 | 发明 |
ZL 2007 2 0037415. 1 | 具有对硅微加工工艺误差不敏感的微机械滤波器 | 实用新型 |
ZL 2014 2 0000914.3 | 具有无热弹性阻尼结构扭转微机电谐振器件 | 实用新型 |
ZL 2014 2 0001856.6 | 一种低热弹性阻尼扭转式微机电谐振器件 | 实用新型 |
ZL201120010463.8 | 高粘度液体中气泡含量的低压声学检测装置 | 实用新型 |
ZL201010154506.x | 高速纺丝凝固喷丝装置的丝束通道 | 发明 |
ZL201010136921.2 | 真空组合脱泡装置 | 发明 |